原子間力顕微鏡（AFM）
| メーカー名・型式 | 島津製作所・SPM9600 |
|---|---|
| 導入年度 | 平成 23（2011）年度 |
| 設置地区 | 日立地区 |
| 設置場所 | N3棟 101室 |
| 公開範囲 | 学内：〇 学外：× |
| 依頼測定 | 無 |
| 取扱責任者 | 理工学研究科 応用理工学野 尾関 和秀 |
機器性能および仕様
| 試料最大形状 | φ24 mm × 8 mm |
|---|---|
| スキャナ走査範囲 | 125 um × 125 um × 7 um |
| 分解能 | 水平 0.2 nm、垂直 0.01 nm |
| 測定モード | ダイナミック、コンタクト、位相 |
分析対象
微細構造を持つ表面試料
活用事例
半導体素子の表面形状評価