ショットキー走査電子顕微鏡（FE-SEM）
| メーカー名・型式 | 日立ハイテクノロジーズ・SU5000 |
|---|---|
| 導入年度 | 平成 29（2017）年度 |
| 設置地区 | 日立地区 |
| 設置場所 | N1棟 105室 |
| 公開範囲 | 学内：〇 学外：× |
| 依頼測定 | 有 |
| 取扱責任者 | 応用理工学野 佐藤 成男 |
機器性能および仕様
| 電子銃 | ZrO/Wショットキーエミッション電子銃 |
|---|---|
| 加速電圧 | 0.5～30 kV（0.1 kVステップ） |
| 照射電圧 | 0.1～20 kV |
| 最大照射ビーム電流 | 200 nA以上 |
| 検出器 | 二次電子検出器 高感度低真空検出器 反射電子検出器 エネルギー分散型X線検出器（EDS） 後方散乱電子回折図形検出器（EBSD） |
分析対象
有機材料、無機材料、金属材料など
活用事例
無機ナノ粒子の形態観察
金属材料の結晶方位解析
電子基板配線の欠陥解析など