X線光電子分析装置(XPS)

メーカー名・型式 | 日本電子・JPS-9010 |
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導入年度 | 平成 24(2012)年度 |
設置地区 | 日立地区 |
設置場所 | N3棟 101室 |
公開範囲 | 学内:〇 学外:× |
依頼測定 | 無 |
取扱責任者 | 応用理工学野 山内 紀子 |
機器性能および仕様
X線源 | Mg Kα線、Al Kα線、単色化Al Kα線 加速電圧: 最大12 kV エミッション電流: 最大50 mA 電流安定度: 1%以下 最大耐負荷: Mg 500 W、 Al 600 W |
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感度および分解能 | 清浄で平滑なAg試料の3d5/2光電子スペクトルをMg Kα 励起した場合 【標準のX線源(Mg Kα 300W換算)の場合】 感度:540,000 cps / 分解能:0.9 eV 感度:1,800,000 cps / 分解能:1.15 eV 感度:5,000,000 cps / 分解能:1.8 eV 【単色化X線源(Al Kα 600W換算)の場合】 感度:60,000 cps / 分解能:0.65 eV |
分析対象
固体材料(金属、金属酸化物、ガラス、プラスチックなど、およびそれらの複合材料)
活用事例
材料表面の元素分析、化学結合状態の評価