X線光電子分析装置(XPS)

X線光電子分析装置
メーカー名・型式 日本電子・JPS-9010
導入年度 平成 24(2012)年度
設置地区 日立地区
設置場所 N3棟 101室
公開範囲 学内:〇  学外:×
依頼測定
取扱責任者 応用理工学野 山内 紀子

機器性能および仕様

X線源 Mg Kα線、Al Kα線、単色化Al Kα線
加速電圧: 最大12 kV
エミッション電流: 最大50 mA
電流安定度: 1%以下
最大耐負荷: Mg 500 W、  Al 600 W
感度および分解能 清浄で平滑なAg試料の3d5/2光電子スペクトルをMg Kα 励起した場合
【標準のX線源(Mg Kα 300W換算)の場合】
感度:540,000 cps / 分解能:0.9 eV
感度:1,800,000 cps / 分解能:1.15 eV
感度:5,000,000 cps / 分解能:1.8  eV
【単色化X線源(Al Kα 600W換算)の場合】
感度:60,000 cps / 分解能:0.65 eV

分析対象

固体材料(金属、金属酸化物、ガラス、プラスチックなど、およびそれらの複合材料)

活用事例

材料表面の元素分析、化学結合状態の評価

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