電界放出型走査型電子顕微鏡（FE-SEM）
| メーカー名・型式 | 日立ハイテクノロジーズ・S-4800 |
|---|---|
| 導入年度 | 平成 22（2010）年度 |
| 設置地区 | 水戸地区 |
| 設置場所 | 研究設備共用センター 1階 電子顕微鏡室1 |
| 公開範囲 | 学内：〇 学外：〇 |
| 依頼測定 | 有 |
| 取扱責任者 | 研究設備共用センター 塙 浩之 |
機器性能および仕様
| 電子銃 | 冷陰極電界放出型 |
|---|---|
| 対物レンズ | セミインレンズ |
| 加速電圧 | 0.5～30kV(標準) |
| 2次電子分解能 | 1.0nm at 15kV 2.0nm at 1kV |
| 倍率 | ×30～800,000 |
| 観察像 | 二次電子像、反射電子像、特性X線像(元素マッピング) |
| オプション | エネルギー分散型X線検出器（EDS）INCA x-act(Oxford Instruments) |
分析対象
固体試料(粉体、薄膜、岩石粒、生体試料など)
活用事例
ナノ粒子の形状・形態観察
隕石中の鉱物の観察