透過型分析電子顕微鏡（TEM）
| メーカー名・型式 | 日本電子・JEM-2100 |
|---|---|
| 導入年度 | 平成 22（2010）年度 |
| 設置地区 | 水戸地区 |
| 設置場所 | 研究設備共用センター 1階 電子顕微鏡室2 |
| 公開範囲 | 学内：〇 学外：× |
| 依頼測定 | 無 |
| 取扱責任者 | 研究設備共用センター 塙 浩之 |
機器性能および仕様
| 電子銃 | LaB6 |
|---|---|
| 最大加速電圧 | 200 kV |
| 観察像 | TEM像(明視野、暗視野) STEM像(明視野、暗視野) 電子線回折像 特性X線像(元素マッピング) |
| 分解能 | 粒子像0.23 nm、格子像0.14 nm |
| 倍率 | MAG ×2,000～ 1,500,000 LOW MAG ×50～6,000 SA MAG ×8,000～800,000 |
| オプション | エネルギー分散型X線検出器（EDS）X-Max 80(Oxford Instruments) |
分析対象
試料薄片(金属、非金属、半導体、鉱物など)、ナノ粒子
活用事例
ナノ粒子の形状・形態観察
接合界面の微細組織観察